半導体・液晶製造工程向けITファシリティ事業のご紹介

電子工業用薬品の薬液供給システムやそれらの回収系･リサイクル系システムのエンジニアリングサービスを担当しております。有機溶剤脱水回収システムも当事業部が担当しております。

薬液供給システム

【実績】　国内/台湾　70社 1500設備

• 高純度薬品／CMPスラリー供給システム
• オンサイト希釈／混酸調合システム

薬液リサイクルシステム

【実績】　IPAリサイクル　20社 70設備

• IPA/HF/現像液/シンナーリサイクル

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