現像液希釈システム

DDS : Developer Dilution System

半導体や液晶パネル製造の現像工程で使用される現像液を、お客さまの工場内で“漸近法”を用いて高精度に希釈します。濃度調整済み現像液に比べ、現像液のコスト大きく軽減できます。

特長

  • お客さまのニーズに合わせた濃度分析ユニットの提案
  • ±0.002wt%以下の希釈調合精度の保証 (実績値  ±0.001wt%以下)
  • ジェット撹拌により混合時間の短縮
  • 最先端半導体工場への実績あり

用途

半導体関連製造設備、液晶パネル関連製造設備

仕様

現像液希釈システム

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