フッ酸リサイクルシステム

HFRS : HF Recycling System

当社の独自技術を駆使して限りある資源のリサイクルを実現します。

設備概要

  • 液晶パネルのエッチング液をダイレクトにリサイクル処理
  • 液中の研磨スラッジを再生式特殊フィルターユニットで高性能分離
  • 液中の溶解不純物を除去
  • 高度濃度調整システムとの組み合わせで安定したエッチングレートを確保

特長

  • 濃厚液を希釈することなくダイレクト処理
  • 高リサイクル率による廃液量の大幅削減
  • 不純物除去
  • 高度濃度調整システムによる安定したエッチングレートを確保
  • 酸、強酸への応用も可能
    薬品使用量・廃棄物量を低減したリサイクル化を目指したご提案をいたします。

設備納入実績

液晶パネル関連製造設備等

設備仕様

  • HFリサイクル率80%
  • 不純物除去率90%

仕様

下記の図は、概略図の一例となります。

フッ酸リサイクルシステム概略図の一例

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