オンサイト薬液調合システム

OMS:On-site Mixing System

製造現場で使用する混合薬液をオンサイトで調合します。
高精度インライン濃度測定装置を装備しており、薬液の濃度を高精度で制御しています。

装置例

1.2種または3種混酸を調合します。
(設備納入実績)
・Alエッチャント液:H3PO4+HNO3+CH3COOH
・Siエッチャント液:HNO3+HF、HNO3+HF+CH3COOH
2.粉体または高濃度原液を希釈調合します。
(設備納入実績)
・ITOエッチャント液:(COOH)2 粉体
・現像液(カラーフィルター):Na2CO3 粉体
・剥離液(カラーフィルター):KOH 粉体

特長

  • 2種または3種混酸の調合システムが可能
  • 粉体から希釈調合システムが可能
  • 高精度インライン濃度測定装置装備
  • 物流費の削減に貢献

用途

液晶パネル製造関連設備、半導体関連製造設備

仕様

下記は、概略図になります。

オンサイト薬液調合システムの概略図

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