フォトレジスト集中供給システム

PRSS : Photo Resist Distribution System

液晶パネル製造工程向けに大型容器を採用を可能にし、バブル(気泡)を含まない安定供給を達成いたします。

特長

  • 通い容器の大型化により薬液コスト及び容器交換頻度の削減が可能
  • 200L、1,000L容器による集中供給
  • フォトレジスト中に気泡を含まない供給が可能

用途

  • 液晶パネル製造設備

仕様

現像液濃度管理システムと組み合わせることで、更なるコスト削減と環境負荷低減を実現します。濃度管理システムについては、「現像液濃度管理システム」の製品ページをご覧ください。

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