現像液濃度管理システム

DRS:Developer Recycle System

装置概要

当社製品「現像液濃度管理システム」は、液晶パネルなどの現像工程で使用されるTMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)等各種薬液の濃度を適時調整することにより、現像レートを安定させながら現像液の消費を削減します。

特長

  • 炭酸塩を含まない真の現像液濃度ならびにレジスト濃度・炭酸塩濃度の管理
  • 現像レート(CD値)を一定に制御可能
  • 多成分濃度系による現像成分をリアルタイムでモニタリング
  • 廃液再利用率を100%達成により原料TMAH、希釈水(超純水)の大幅削減

用途

液晶パネルなどの現像工程で使用されるTMAH濃度、レジスト濃度、炭酸塩濃度の管理に使用されます。

仕様

お客さまの薬品使用量に合わせた供給システムがございます。

概略図

関連する分野・用途

半導体・液晶・電池